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旋转涂膜机适用于哪些材料的镀膜工艺?

更新时间:2023-01-12      点击次数:553
  旋转涂膜机适用于半导体、晶体、CD、制版等表面镀膜工艺,可用于强酸和强碱涂膜溶液的涂膜制备。该机可以对镀膜机的腔体抽真空,使样品在真空的状态下进行镀膜,适合使用在空气中容易氧化变质的薄膜材料。镀膜机工作时,样品通过真空托盘吸附固定在样品装载托盘上。该设备可存储12组程序,每组程序包含6个运行阶段。设备在不同运行阶段的不同转数,使设备缓慢提高到极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,不会浪费太多,从而节省材料,具有操作简单、清洗方便、体积小等优点,主要用于各大学和研究所的实验室生成薄膜。
 
  

旋转涂膜机

 

  1、旋转涂膜机共有12组程序,每组包括6个运行阶段。每级升降速率的设定范围为100-2000rpm/s,每级时间范围为0-60s。
  
  2、样品可以通过真空吸附或粘接或夹紧来固定,操作简单。
  
  3、吸盘的真空度可以达到-0.08MPa。
  
  4、使用定位工具,样品可以很容易地放置在中心位置,以减少偏心引起的振动或飞片。
  
  5、可根据样品规格使用不同的吸盘,更换方便简单。
  
  6、电机采用DC无刷电机,无级调速,可靠性高,适应性强,维修保养简单,噪音低,振动小,运转平稳,启动快速平稳,加速后运转平稳,能保证涂层厚度的一致性和均匀性。
  
  7、真空吸附固定样品时,采用无油平行杆真空泵,具有体积小、结构简单、操作简单、维修方便、无环境污染等优点。
  
  8、涂覆可以在惰性气体气氛中进行。
  
  9、涂覆可以在真空状态下进行。此时,需要通过粘合基板或夹紧基板来固定涂覆的基板。
  
  10、旋转涂膜机腔体整体由聚丙烯制成,使用寿命更长,耐化学腐蚀性能提高,抗应力开裂性能优异。
  
  11、具有开盖保护功能。当涂层过程中或涂层结束时打开盖子时,机器将快速减速直至停止。
  
  12、控制器采用控制箱,液晶显示数值,更加直观可靠。
  
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